共焦点レーザー顕微鏡の製品紹介

オプトエレクトロニクス関連 〜共焦点レーザー顕微鏡(DMDコンフォーカルレーザー)

共焦点レーザー顕微鏡(DMDコンフォーカルレーザー顕微鏡)

DMX-010V

DMD(デジタルマイクロミラーデバイス)スキャン採用

顕微鏡の光源としてレーザーを使用しているので、単一波長による安定した計測が可能。
レーザースキャンにDMD(Dgital Micromirror Device・デジタル マイクロミラー デバイス)を採用することで、 高速&
広角偏向が可能となり、従来のレーザー顕微鏡以上の広視野を高速で画像取得することが可能となりました。

共焦点レーザー顕微鏡画像

 

自動検査機への搭載に最適なレーザー顕微鏡

コンフォーカルによる全焦点画像

共焦点レーザー顕微鏡による全焦点画像焦点の合ったところだけの光がCCDに戻ってくる共焦点方式を採用しているので、高さ方向の情報を有する全ての場所にピントの合った画像を確保でき、平面および高さの計測を必要とする検査に最適です。

短波長レーザー採用

共焦点レーザー顕微鏡に使用されているバイオレットレーザーの分解能力レーザー波長は、可視光限界に迫る408nmバイオレットレーザを採用。高い分解能は、さまざまな検査をより正確にします。

同時観察機能

同時観察機能レーザー光源のリアル画像と2次元カラーCMOSカメラのリアルタイム同時観察が可能。独自の光学系を採用し、ミラーなどによる画面切り替えをせずに、双方の画像を同時に取得・表示。

 

高速計測機能

共焦点レーザー顕微鏡DMX−010Vは、パソコン側に画像を転送後、ソフトウエアが寸法計測を行っている一般的顕微鏡システムと異なり、ライン等でスループット向上が要求される自動検査に必要なベーシックな計測はハードウェアで高速処理しているので、毎秒30フレームという高速描画により、ほぼリアルタイムに検査箇所の画像および計測データ出力が可能となっており、自動検査への導入に適しています。

 

3次元画像と形状計測

 

光学シート 280×140μm

液晶スペーサ 280×140μm

紙表面 280×140μm

V溝 2800×1400μm

 

 

 

 

概略仕様
商品名 共焦点レーザー顕微鏡(DMDコンフォーカルレーザー顕微鏡) DMX-010V
光源 半導体レーザー408nm 0.9mW
検査光学系 共焦点光学系(レーザー光源)
対物レンズ 10×,20×,50×,100×
視野

■標準タイプ
50×にて 280μm(H)×210μm(V)

■広視野タイプ
50×にて 400μm(H)×300μm(V)

Z駆動範囲 28mm
Z表示分解能 0.01μm※
高さ計測繰り返し精度 σ=0.02μm※
水平解像度 0.15μm※
幅計測繰り返し精度 3σ=0.02μm※
観察用カラーカメラ

1/4インチCMOSセンサ

※スペックは標準タイプ

制御部 カメラヘッド部と分離型
データ処理部 付属PC(OS:Windows XP)
表示部 19インチTFTモニタ

※発売前につき、仕様内容は変更することがございます。

ヘッド部寸法
共焦点レーザー顕微鏡ヘッド部寸法
システム構成

共焦点レーザー顕微鏡のシステム構成

オートステージ対応

共焦点レーザー顕微鏡対応オートステージX−Y電動オートステージに対応したソフトウェアにより、自動計測がより柔軟かつ容易に実現できます。 ステージ寸法、制御などは、ご要望に応じてカスタム設計対応が可能なので、ターゲットとなる検査試料に合わせて最適な装置を提供できます。

写真は全高スリムタイプのXYオートステージ
ストロークX:100mm Y:200mm
ステージ全高:50mm

 

 

 

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