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オプトロニクス関連

レーザー光源を用いたコンフォーカルタイプの顕微鏡技術を応用した、お客様のニーズに合わせた高精度かつハイパフォーマンスの検査装置を開発設計、製造、販売しております。

IRコンフォーカルレーザー顕微鏡（近赤外共焦点顕微鏡）

型式：DMX-03IR

DMX-03IRは、シリコンを透過する赤外波長の1310nm半導体レーザーを採用し、撮像素子にInGaAsラインセンサを使用した近赤外共焦点（コンフォーカル）レーザー顕微鏡です。
MEMS、フリップチップ、貼合わせウエハの貼合わせ面の接合面の状態、ボイドの観察、また表面からは見ることができない接合面のアライメントマークの位置などを、共焦点（コンフォーカル）光学系採用により、非合焦部の光を排除するので、通常の赤外透過顕微鏡より鮮明に観察・計測することができます。