■　DMD(デジタルマイクロミラーデバイス)スキャン採用

顕微鏡の光源としてレーザーを使用しているので、単一波長による安定した計測が可能。
レーザースキャンにDMD(Dgital Micromirror Device・デジタル マイクロミラー デバイス)を採用することで、 高速＆
広角偏向が可能となり、従来のレーザー顕微鏡以上の広視野を高速で画像取得することが可能となりました。

■　自動検査機への搭載に最適なレーザー顕微鏡

・コンフォーカルによる全焦点画像

焦点の合ったところだけの光がＣＣＤに戻ってくる共焦点方式を採用しているので、高さ方向の情報を有する全ての場所にピントの合った画像を確保でき、平面および高さの計測を必要とする検査に最適です。

・短波長レーザー採
レーザー波長は、可視光限界に迫る４０８ｎｍバイオレットレーザを採用。高い分解能は、さまざまな検査をより正確にします。

・同時観察機能
レーザー光源のリアル画像と２次元カラーＣＭＯＳカメラのリアルタイム同時観察が可能。独自の光学系を採用し、ミラーなどによる画面切り替えをせずに、双方の画像を同時に取得・表示。

・高速計測機能
共焦点レーザー顕微鏡DMX－010Vは、パソコン側に画像を転送後、ソフトウエアが寸法計測を行っている一般的顕微鏡システムと異なり、ライン等でスループット向上が要求される自動検査に必要なベーシックな計測はハードウェアで高速処理しているので、毎秒３０フレームという高速描画により、ほぼリアルタイムに検査箇所の画像および計測データ出力が可能となっており、自動検査への導入に適しています。

・ヘッド部寸法

・システム構成

・オートステージ対応